フィールドエミッション走査電子顕微鏡(日本電子製)
JSM-7000F

試料に電子線を照射し、その表面形態を観察する装置です。試料に電子線を照射すると、試料表面から2次電子が発生します。その二次電子を最終的に画像の形に出力して試料を観察します。