SEM/走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡（日立製）
（Scanning Electron Microscope/SEM）

試料に電子線を照射し、その表面形態を観察する装置です。試料に電子線を照射すると、試料表面から２次電子が発生します。その二次電子を最終的に画像の形に出力して試料を観察します。この装置ではマイクロメートルサイズでの観察が可能です。

エネルギ-分散型X線分析装置
（Energy Dispersive X-Ray Detector/EDX）
上記のTEM、SEMの両方に備え付けてある装置です。試料に入射した電子線は、試料内の電子状態を励起し、エネルギーの一部を失います。この時、構成元素に固有の波長（エネルギー）を持つＸ線が発生します。このＸ線の波長（エネルギー）を分析することで、試料に含まれる元素の分析が可能となります。